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知識問題|一篇英文!!半導體論文翻譯急需

發問者： 寶利達 ( 初學者 5 級)
發問時間： 2007-12-12 21:43:46
解決時間： 2007-12-14 18:34:59
解答贈點： 10 ( 共有 0 人贊助 )
回答： 1 評論： 0 意見： 1
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問題如下:
The capacitor-type FeRAMs can be easily integrated because the technology is very
similar to DRAM without changing any logic devices. Since the reliability of the
underlaid Al-based interconnects and W-via is degraded by the high temperature of
ferroelectric annealing [242], the FeRAM capacitor requires a low thermal-budget
process. Traditionally, the ferroelectric capacitor was fabricated before the CMOS devices,
since the ferroelectric materials such as PZT and SBT require high temperature anneal to
crystallize into ferroelectric phases. However, the plasma and hydrogen-containing
atmosphere such as in forming gas annealing and tungsten chemical vapor deposition
(W-CVD) used in CMOS interconnect process damage the ferroelectric capacitor and
reduce the remnant polarization of FeRAM [243,244].

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回答者： Ann ( 初學者 5 級 )
回答時間： 2007-12-13 08:44:41
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先給你一個小建議,英文論文如果有不懂,可以查reference. 其他的paper可能可以幫助你理解!!你這份論文,不是我的專長,所以可能翻得不是很好. 或是你如果能把整份paper都給我,有上下文 比較容易理解.

由於電容類的FeRAMs技術和DRAM 非常相似甚至不需要改變任何儀器,使得他容易整合. 由於需要鋁為基底的支撐物互相連結而且接過高溫的鐵電退火會造成W的衰退.所以FeRAM電容必須低溫處理.傳統而言,由於鐵電材料如PZT和SBT需要高溫回火來長晶形成鐵電相,所以鐵電電容在CMOS製程前就已經完成.然而電漿及含氫的氣氛(例如形成氣相退火或是CMOS連結製程中所使用的鎢-化學氣相沉積法)都會破壞到鐵電電容並且會降低FeRAM殘留的極性.

我知道英文期刊和論文很難念啦.但多念幾篇就懂了.加油唷~~
參考資料
我
相關詞：
ferroelectric capacitor, FeRAM, PZT, DRAM, CMOS devices, ferroelectric materials, SBT, logic devices, 論文, CMOS
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發問者評價 極有幫助 太感恩大大!!
希望大大可以在幫我的忙一下!!
QQ我會感激不盡的!!
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